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宽幅智能激光SLM光刻设备HoloScanV
修改时间: 2009-05-22

宽幅智能激光SLM光刻设备HoloScanV是一款“大型激光光刻制版系统”,整版(800mmx610mm)制版时间仅4-17小时,适合于200um以上的微结构干涉图形制作。通过多光束与单光束互换功能,HoloScanV支持激光直写精密矢量化掩模图形,分辨率达210um。HoloScanV具有自主知识产权,拥有多项授权发明专利,3项软件著作权登记,江苏省优秀专利奖。HoloScanV的研制得到科技部863计划等支持。

 

主要性能

HoloScanV 具有许多优越性能:自动更换图形分辨率设置、支持R\G\B\Silvering等多种颜色选择,不仅具有点阵干涉光刻功能,同时也支持传统激光直写系统的矢量化直写功能。包括圆形、方形、矩形等光点选择,特殊光点形状可根据用户要求定制。

微结构图形上:支持周期性结构(线形、点阵)光刻、支持MEMS图形光刻。图形设计上:支持动态、立体、分层、真彩色、视角图形、同位异象、微缩文字等各种处理。支持的自主开发的光变图像处理与控制软件有:OVGraphics1.5, SVGWriting1.0,HMP3.0等。

 

HoloScanV为激光包装、印刷和防伪行业打开了广阔的应用领域,展现了前所未有的前景,HoloScanV在整版幅面上实现了各种类型全息、衍射、动态图形的快速制造,从而,为印刷也提供了一种3D图形的制版技术。

 

获奖情况

  • 江苏省科技进步一等奖
  • 全国“发明创业奖”
  • 苏州市技术发明一等奖。

        

a.3D image   b. special optical variable patterns with high resolutions

(c) large format pattern

 
 
 
 

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