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基础设施及仪器设备现状
修改时间: 2009-05-16

    实验室现由位于苏州大学校本部内的三幢实验大楼构成,已有实验室使用面积8500平方米。实验室经过多年的建设,已经建立了良好的研究条件。现有单件价值在三万元以上的仪器设备原值总计4000万元;计入三万元以下的仪器设备,总设备原值超过4500万元人民币。

   拥有国内一流(最大)的激光干涉光刻设施,自主研制了“宽幅激光图像光刻直写设备(HoloScanV)”(610mmx800 mm),自主研制了宽幅精密激光直写系统、大尺寸光刻胶干板处理设备、大型微纳米压印设备等,建立了配套完整了微纳米光刻、离子刻蚀、ICP刻蚀、紫外DPSSL激光光刻、刻蚀设备,购买了大型台阶仪(3nm),高精度离子刻蚀机以及大型激光器等,加强和巩固了实验室在数码激光图像技术上一流的科研条件和研究的领先地位。 
    已配置有多台套世界先进水平的非球面加工和检测仪器设备,如非球面加工中心,非球面轮廓测量仪,自由曲面铣磨机及相应的抛光设备、非球面轮廓和粗糙度测量仪,新一代干涉仪以及光学测试系统,大型镀膜机。自行研制了多种口径的非球面面形测量仪、大口径数控非球面铣磨机、小型数控非球面抛光机和热沉降非球面成形炉。已建立起国内一流的非球面设计和加工检测实验室,形成了承担国家重点项目的配套能力和工程化能力。 
    引进了先进的光学、光机设计与分析软件、三维机械设计软件和工程分析软件,能够基本满足各类光学系统设计与工程分析的需求。我们建立了光学装调测试实验室、光学系统温变和振动环境测试实验室,通过引进光学系统性能集成测试设备、大口径数字波面干涉仪和长焦距平行光管,具备了研制和测试各种成像光学系统的能力。 
    在新型光学材料研究方面,拥有先进的微波ECR等离子体化学气相沉积、多靶磁控溅射和脉冲激光沉积等多种有特色的薄膜制备和材料表面改性能力,建成了比较完整的材料结构测试平台,包括转靶X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、多功能扫描探针显微镜和表面轮廓仪等一流进口仪器,还可免费利用学校分析测试中心的包括高分辨透射电镜和扫描电镜等多种大型测试仪器。在光学测试方面,拥有皮秒脉冲激光系统,瞬态吸收光谱系统,脉冲宽度可调激光器,先进场发射测量系统,以及多台套从紫外到红外的光谱仪和光度计量仪,荧光光谱仪和热性能测试分析仪等。这些为新型光学材料的制备,改性及应用等研究提供了完整的科研条件。

 
 

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