微区纳米压印系统NanoMakerII
时间: 2009-05-22 作者: 浏览次数: 2474
在国家发改委科技专项和苏州市科技专项的资助下,本实验室申溯博士带领的课题组,研制成功了“微区纳米压印系统”(Micro-head Nano-Imprinting System:NanoMakerII)。顾名思义就是在微小区域上进行微纳米结构的压印。
微区纳米压印系统(NanoMakerII)”主要针对“阵列微纳米结构器件和模具”的研制,如制作微透镜阵列、光变衍射图像阵列、MEMS和微纳光电子器件等。NanoMakerII具有压印深度和微结构转角可控特点,根据设计要求压印出不同深度和取向角的压印单元并组成列阵。NanoMakerII 的压印方法已申请中国发明专利。
新型NanoMakerII单面压印NIL设备进入工程化的纳米技术的应用领域、支持多种材料,如光刻胶和聚合物的压印光刻等。

性能参数
- 压印分辨率:50nm
- 压印深度:50nm~500um可控
- 微区尺寸:微区10~500um,小区500um~2mm,中区2mm~5mm
- 压印头:旋转角度:0~180o,微压印头抬升均有伺服电机驱动
- 加热温度(数控):室温至300oC,10mins,稳定性1oC度
- 压力传感:气压传感器,深度控制:气压、温度和微头太深高度
- 微压印头:伺服电机控制
- 平台:伺服电机或者纳米陶瓷电极驱动,精度(检测传感)可根据客户要求定制
- 软件:支持点阵运行模式,支持客户设定